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本发明公开了一种脆性材料真空吸附盘，包括圆形底盘，沿底盘周边一体成型有侧壁，侧壁的顶端设有环形中心槽，中心槽内设有同轴环形凸台，凸台顶部的高度低于侧壁顶端的高度，凸台将中心槽分隔成第一凹槽和第二凹槽，还包括一个用于抽真空的真空通道，真空通道...
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