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一种非制冷红外探测器制造技术
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下载一种非制冷红外探测器的技术资料
文档序号:16588833
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本发明公开了一种非制冷红外探测器,属于红外探测领域。本发明包括衬底、支撑薄膜、至少一个半导体热传感部件、一种伞状结构的红外吸收层和隔离层。支撑薄膜覆盖于衬底之上,半导体热传感部件、伞状结构的红外吸收层和隔离层沉积在支撑薄膜上。一种伞状结构的...
该专利属于成都市亿泰科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都市亿泰科技有限公司授权不得商用。
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