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本发明涉及一种用于氮化铝陶瓷基片氧化处理方法，其特征在于，包括以下步骤：101、对氮化铝基片表面进行预清洗；102、将放置有经预清洗的氮化铝基片的炉管内空气抽出；103、向该真空的炉管内通入氮气使得炉管内部压力达到预定压力值，并持续通入氮气...
该专利属于四川科尔威光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川科尔威光电科技有限公司授权不得商用。

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