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一种可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关制造技术
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文档序号:16588672
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本发明公开了一种可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关,包括绝缘衬底、轴向电极支撑座、径向电极支撑座、弹簧支撑座、轴向电极、环形惯性质量块电极、限位止挡柱、径向电极、蛇形支撑弹簧、径向电极连接条、轴向电极连接条和至少一个质量块电极连接条,...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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