下载一种立体双层结构的热释电非制冷自选频红外探测器的技术资料

文档序号:16584913

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本发明公开了一种立体双层结构的热释电非制冷红外探测器,属于红外探测领域。本发明包括硅基底、多个立体双层结构的热电偶、一种三层结构的自选频红外吸收器、接触高电极、接触低电极和二氧化硅薄膜,与CMOS工艺兼容。本发明采用一种立体双层结构的热电偶...
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