下载一种无穷远高倍物镜微调焦装置的技术资料

文档序号:16564707

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本实用新型提供了一种无穷远高倍物镜微调焦装置,包括壳体、物镜、位于壳体上方的主体,所述主体内设置有导向作用的柔性铰链机构,在所述壳体内所述主体下方设有用于提供驱动力的压电陶瓷组件和用于测量位移的电容传感器。本实用新型采用柔性铰链做导向机构,...
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