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本发明涉及一种静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法和系统，其中方法包括以下步骤：获取阶梯型微固支梁结构参数和阶梯型微固支梁结构检测函数，所述阶梯型微固支梁结构检测函数用于记录阶梯型微固支梁结构参数之间的对应关系；根据阶梯型微固支梁静电力作用区...
该专利属于中国电子产品可靠性与环境试验研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子产品可靠性与环境试验研究所授权不得商用。

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