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本发明公开了一种外延生长薄膜压电元件的制造方法，包括：提供一衬底；在所述衬底上通过外延生长形成下电极层；在所述下电极层上通过外延生长形成c轴取向的第一压电层；在所述第一压电层上通过外延生长形成c轴取向且成分相结构不同于所述第一压电层的第二压...
该专利属于新科实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新科实业有限公司授权不得商用。

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