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本发明提供了一种指纹识别芯片与驱动芯片的封装方法及结构,为晶圆级的封装方法,从指纹识别芯片的晶圆的背面形成盲孔,在盲孔中固定驱动芯片,进而晶圆的切割,获得封装结构。这样,在晶圆级的指纹识别芯片的背面中实现了与驱动芯片的封装,降低封装工艺的复...该专利属于苏州晶方半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶方半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种指纹识别芯片与驱动芯片的封装方法及结构,为晶圆级的封装方法,从指纹识别芯片的晶圆的背面形成盲孔,在盲孔中固定驱动芯片,进而晶圆的切割,获得封装结构。这样,在晶圆级的指纹识别芯片的背面中实现了与驱动芯片的封装,降低封装工艺的复...