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本发明提出了一种测量套刻误差的装置和方法，在装置中增加能够将测量光调整为关于显微物镜光轴中心对称的测量光调整组件，使得测量光经过该套装置后经过套刻测量标记形成正负级次衍射光，并最终在探测器上显示正负级次衍射光的衍射光谱，并且衍射光谱上正级次...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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