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一种光控太赫兹空间外部相位调制器制造技术
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文档序号:16545720
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本发明提供了一种光控太赫兹空间外部相位调制器,属于电磁功能器件技术领域。本发明是由半导体衬底、人工微结构以及可控动态开关构成,通过施加外部光诱导,改变开关材料的电导率和介电常数,由此改变人工微结构的电磁谐振模式,从而对太赫兹波实现相位调制。...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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