下载分析β‑SiC过渡层对金刚石膜形核生长影响的方法的技术资料

文档序号:16545152

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本发明公开了一种分析β‑SiC过渡层对金刚石膜形核生长影响的方法。所述方法采用中频磁控溅射技术在硬质合金基体上沉积SiC过渡层,通过对沉积温度的调控,获得不同表面形貌和组织特性的β‑SiC过渡层;利用热丝化学气相沉积在SiC过渡层表面沉积金...
该专利属于中国地质大学(北京)所有,仅供学习研究参考,未经过中国地质大学(北京)授权不得商用。

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