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本发明提供了一种微流泵浦结构、系统及制作方法。根据本发明的微流泵浦结构，包括泵腔，设置在泵腔中的动力膜片，以及驱动动力膜片在泵腔中运动的驱动装置；动力膜片将泵腔分割为第一腔室和第二腔室；第一腔室具有用于与外部连通的第一通道，第二腔室具有用于...
该专利属于歌尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔股份有限公司授权不得商用。

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