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本实用新型公开了一种磷化铟单晶生长装置，包括高压炉、氮气系统、加热系统、冷却系统和控制系统，所述高压炉包括支架、炉体和往复式翻转机构，所述氮气系统包括气罐和可控电动阀，所述加热系统包括设置在炉体内腔的加热器和坩埚固定座，所述冷却系统包括依次...
该专利属于台山市华兴光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台山市华兴光电科技有限公司授权不得商用。

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