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本发明公开了一种晶圆级封装结构,包括:硅基板,所述硅基板包括设置在所述硅基板的第一表面上的连接焊盘和连接焊盘周围的介质层,设置在所述硅基板的第二表面上的封装焊盘和封装焊盘周围的介质层,将所述封装焊盘电连接到所述连接焊盘的一层或多层金属布线和...该专利属于华进半导体封装先导技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华进半导体封装先导技术研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种晶圆级封装结构,包括:硅基板,所述硅基板包括设置在所述硅基板的第一表面上的连接焊盘和连接焊盘周围的介质层,设置在所述硅基板的第二表面上的封装焊盘和封装焊盘周围的介质层,将所述封装焊盘电连接到所述连接焊盘的一层或多层金属布线和...