下载声表面波器件晶圆级薄型封装结构及其制造方法的技术资料

文档序号:16532403

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本发明公开了一种晶圆级封装结构,包括:硅基板,所述硅基板包括设置在所述硅基板的第一表面上的连接焊盘和连接焊盘周围的介质层,设置在所述硅基板的第二表面上的封装焊盘和封装焊盘周围的介质层,将所述封装焊盘电连接到所述连接焊盘的一层或多层金属布线和...
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