下载一种发光二极管外延片的制造方法的技术资料

文档序号:16530703

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本发明公开了一种发光二极管外延片的制造方法,属于半导体技术领域。包括:提供一衬底;在衬底上依次生长缓冲层、成核层、未掺杂氮化镓层、低温改善层、第一N型氮化镓层、多量子阱层和P型氮化镓层;其中,低温改善层为未掺杂的AlxGa1‑xN层,0≤x...
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