下载一种微透镜及其阵列的集成非平面紫外光电探测器的技术资料

文档序号:16530637

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本发明公开了一种微透镜及其阵列的集成非平面紫外光电探测器,包括金属电极、微透镜阵列及半导体材料基底;微透镜阵列设置于半导体材料基底上;金属电极对称地制作在微透镜阵列中每一个微透镜的两边缘上使得微透镜中间球面部分作为光照区域,边缘部分被金属电...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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