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本发明提供了一种对准装置及其方法，所述对准装置包括：光源、照明组件、光转向组件、成像组件及探测器；所述光源发出的光束经过所述照明组件之后被所述光转向组件分为第一光束与第二光束，第一光束射入至上硅片，第二光束入射至下硅片，被上硅片与下硅片反射...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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