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本发明提供一种键合设备，通过在上压盘组件与传动装置之间设置柔性压盘，上压盘组件的柔性压盘位于真空腔体内部，由于柔性压盘为可伸缩结构，当柔性压盘伸长或者膨胀体积增大时，柔性压盘给予与其连接的上压盘组件向下的压力，从而使得上压盘组件缓慢向下移动...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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