下载两次曝光的光刻胶沉积和金属剥离方法的技术资料

文档序号:16530566

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本发明公开了一种两次曝光的光刻胶沉积和金属剥离方法,包括在基片上形成的第一光刻胶层,其厚度大于需要沉积的金属图形的厚度;对所述第一光刻胶层进行第一次光刻曝光,于所述第一光刻胶层内形成第一图形区域;于所述第一光刻胶层上形成第二光刻胶层;对所述...
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