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本发明公开了一种全集成式红外气体传感器，包括：气孔层、光腔层、电路层及发光二极管，所述气孔层上设置有若干气孔，所述光腔层上设置有若干微型槽及红外光源入射窗口，所述发光二极管设置于电路层上，所述气孔层与光腔层相连以形成集成气室，所述红外光源入...
该专利属于中电科技集团重庆声光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电科技集团重庆声光电有限公司授权不得商用。

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