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本发明公开一种全集成式红外气体传感器，包括：压电微泵层、气孔层、光腔层、电路层、红外光源、滤光片及红外敏感元，所述电路层用于输出周期性电压时序控制信号至压电微泵层以控制所述压电微泵层进行上抬或下压动作，当所述压电微泵层下压且完全遮蔽气孔层上...
该专利属于中电科技集团重庆声光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电科技集团重庆声光电有限公司授权不得商用。

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