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抛光组合物制造技术
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文档序号:1652166
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一种用于对磁盘基片进行抛光的抛光组合物,它包含(A)选自磷酸盐和磷化合物中的一种组分,或者选自磷酸、磷酸盐和磷化合物中的两种组分,(B)二氧化硅和(C)水,其特征在于:当(A)化合物只含有膦酸时,不含(D)硝酸铝。...
该专利属于不二见株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过不二见株式会社授权不得商用。
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