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本实用新型提供了一种微型多维传感器，微型多维传感器包括：基底以及设置在基底上的第一绝缘层；第一绝缘层上设置有加热层；所述加热层上设置有第二绝缘层；第二绝缘层上设置有电极层，所述电极层包括N个相互独立的电极，所述N个相互独立的电极在沿所述电极...
该专利属于北京市劳动保护科学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京市劳动保护科学研究所授权不得商用。

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