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一种用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，包括差分放大电路，被放置在上层光路上的激光器、滤波镜片及第1反光棱镜，以及被放置在下层光路上第2反光棱镜、衍射光栅、第1反光镜、第2反光镜、立方体分光镜、放大透镜及光电探头阵列。上层光路的激光器射...
该专利属于哈尔滨工业大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学深圳研究生院授权不得商用。

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