下载抛光组合物及抛光方法的技术资料

文档序号:1651938

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一种抛光组合物,包含由通式(1)所示的化合物和研磨颗粒。在通式(1)中,X表示由含有活性氢原子和环氧烷烃的化合物而衍生的聚醚多醇(具有环氧乙烷的含量为20~90mass%的聚醚链)的残基;m表示2~8的整数,等于聚醚多醇单分子中所含的羟基数...
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