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本申请公开一种超导微波纳米谐振腔，包括介质基片、位于介质基片同一表面的两个共面波导地平面、共面波导传输线中央导带线和纳米腔；共面波导传输线中央导带线位于两个共面波导地平面之间；纳米腔位于共面波导地平面区域内，且位于介质基片表面上；其中，纳米...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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