下载基于GaN六棱锥阵列的LED外延结构及其制备方法的技术资料

文档序号:16503572

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本发明涉及半导体领域,所述的一种LED外延结构,包括衬底、形核层、非掺杂GaN层、n型GaN层以及在n型GaN层上的多孔SiNx层;还包括形成在多孔SiNx层孔洞处的n型GaN六棱锥阵列,以及位于六棱锥顶点处的量子点、六条棱上的量子线和在六...
该专利属于太原理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过太原理工大学授权不得商用。

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