专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
太原理工大学
>
基于GaN六棱锥阵列的LED外延结构及其制备方法技术
>技术资料下载
下载基于GaN六棱锥阵列的LED外延结构及其制备方法的技术资料
文档序号:16503572
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及半导体领域,所述的一种LED外延结构,包括衬底、形核层、非掺杂GaN层、n型GaN层以及在n型GaN层上的多孔SiNx层;还包括形成在多孔SiNx层孔洞处的n型GaN六棱锥阵列,以及位于六棱锥顶点处的量子点、六条棱上的量子线和在六...
该专利属于太原理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过太原理工大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。