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本发明涉及一种红外LED及其制备方法,该方法包括:选取Si衬底;在Si衬底表面生长Ge外延层;在Ge外延层表面上淀积保护层;利用LRC工艺晶化Si衬底、Ge外延层、保护层;刻蚀保护层,形成晶化后的Ge层;对晶化后的Ge层进行掺杂形成P型晶化...该专利属于西安科锐盛创新科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安科锐盛创新科技有限公司授权不得商用。
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