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可见光波段的集成石墨烯二硫化钼的光电探测器及其制备方法技术
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下载可见光波段的集成石墨烯二硫化钼的光电探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:16503550
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本发明涉及一种可见光波段的集成石墨烯二硫化钼的光电探测器及其制备方法。本方法提供的可见光光探测器,包括单晶硅衬底、二氧化硅介质层、氮化硅波导层、SU8波导、连续的二硫化钼层、连续的石墨烯层、金属电极。通过利用单层二硫化钼对可见光的强吸收和石...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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