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一种铒掺杂二硫化钼薄膜的制备方法技术
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文档序号:16501020
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本发明的公开了一种铒掺杂二硫化钼薄膜的制备方法,包括以下步骤:步骤1、将硫粉置于一温区;将三氧化钼粉及氯化铒粉置于二温区;将衬底放在坩埚表面,然后将坩埚放置在三温区;步骤2、将真空管式炉内抽真空,向真空管式炉中通载气进行清洗;步骤3、继续通...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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