下载真空恒压系统的技术资料

文档序号:16500949

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本实用新型提供一种真空恒压系统,该真空恒压系统包括真空泵、外部气源、真空规、比例调节阀、真空腔体和控制中心;所述外部气源通过质量流量控制器与所述真空腔体的一端连通,所述真空腔体的另一端依次通过所述真空规和所述比例调节阀与所述真空泵连通,构成...
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