下载刻划头单元的技术资料

文档序号:16496616

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本发明提供在使用刻划工具刻对脆性材料基板进行刻划的情况下,提高刻划工具的金刚石刻划尖的耐久性的刻划头单元。一边加压一边使固体润滑剂沿刻划预定线移动而向脆性材料基板涂布润滑剂。在涂布了润滑剂之后,使用具有金刚石刻划尖的刻划工具沿刻划预定线进行...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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