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本实用新型提供了一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，包括观察窗本玻璃压板及玻璃冷却板；观察窗本体包括玻璃固定板和玻璃固定板上安装的观察玻璃；所述玻璃冷却板上设有环形的导流沟槽，玻璃压板上安装有吹扫装置，导流沟槽与吹扫装置的送气口相通，在玻璃...
该专利属于江苏通鼎光棒有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏通鼎光棒有限公司授权不得商用。

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