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离子光学装置制造方法及图纸
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文档序号:16483508
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本发明的离子光学装置,包括:一或多对约束电极单元,在一空间内的第一方向的两侧相对设置且随第一方向延伸;电源装置,用于在成对的约束电极单元分别施加相反的射频电压且在约束电极单元上形成按基本正交于第一方向的一个第二方向分布的多个直流电位,以在第...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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