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一种能产生超模的脊形波导耦合阵列制造技术
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文档序号:16482390
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本发明公开了一种能产生超模的脊形波导耦合阵列,包括至少两个波导单元,相邻的两个波导单元通过过渡块相连,相邻波导单元之间通过相互耦合产生超模光场。所述波导单元包括芯层、上包层和衬底,芯层位于上包层和衬底之间。所述波导单元的芯层为脊形结构,所述...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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