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本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法，包括：向还原尾气中通入外补的氯化氢气体，并使还原尾气中的无定形硅粉与其中的氯化氢气体及外补的氯化氢气体充分反应；通过分离膜将已去除无定形硅粉的还原尾气中的氢气和少量的氯化氢的混合气与气相氯硅烷分离；对所...
该专利属于新特能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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