下载一种PVD法低温制备石墨烯的方法的技术资料

文档序号:16465700

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本发明提供一种PVD法低温制备石墨烯的方法,利用真空磁控溅射镀膜技术,在基片上沉积原子粒金属膜,再利用固体高纯石墨做靶材在金属膜表面磁控溅射嵌入碳原子,经过真空热处理后金属膜表面结晶析出碳形成石墨烯。当其应用于电池领域时,能显著改善锂电池倍...
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