下载面向物联网的具有热电转换功能的砷化镓基HBT器件的技术资料

文档序号:16456321

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本发明公开了一种面向物联网的具有热电转换功能的砷化镓基HBT器件,包括:在传统HBT的集电极、基极和发射极的金属电极层四周,制作一层二氧化硅层,进行电隔离,同时作为制作热电偶的基准面;在二氧化硅层上,分别围绕集电极、基极及发射极布置12个由...
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