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面向物联网的具有热电转换功能的砷化镓基HBT器件制造技术
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下载面向物联网的具有热电转换功能的砷化镓基HBT器件的技术资料
文档序号:16456321
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本发明公开了一种面向物联网的具有热电转换功能的砷化镓基HBT器件,包括:在传统HBT的集电极、基极和发射极的金属电极层四周,制作一层二氧化硅层,进行电隔离,同时作为制作热电偶的基准面;在二氧化硅层上,分别围绕集电极、基极及发射极布置12个由...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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