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本发明提出了一种基于可变弹性模量复合薄膜梁的多路射频微机电开关，旨在实现对多路信号传输的控制，同时避免“误执行”现象，并降低开关由“开态”变换为“关态”时膜桥的弹性恢复力。包括驱动电极、复合薄膜梁、基底、射频传输线和地线，射频传输线并排固定...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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