下载一种抑制熔融硅液面振动的石英坩埚及其制备方法的技术资料

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一种抑制熔融硅液面振动的石英坩埚,其壁部和弯曲部的内表面在垂直方向和水平方向分布有微凹槽,微凹槽的宽度为0~500μm,微凹槽的深度为0~500μm;垂直方向微凹槽之间的间隔为5~20mm,水平方向微凹槽之间的间隔为0.1~5mm;凹槽的横...
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