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本发明公开了一种管式PERC太阳能电池的镀膜设备，包括晶片装载区、炉体、特气柜、真空系统、加热系统、控制系统以及石墨舟，所述特气柜设有用于通入硅烷的第一气体管路、用于通入氨气的第二气体管路、用于通入三甲基铝的第三气体管路、用于通入笑气的第四...该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱康太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱康太阳能科技有限公司授权不得商用。