下载一种通用型基板架及其应用方法的技术资料

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本发明涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是一种通用型基板架及其应用方法,其特征在于:在所述上、下基板盘的表面分别开设有环槽,所述挂钩基座通过连接件与所述环槽连接并可通过所述连接件在所述环槽内滑动或固定。本发明的优点是:可兼容不同尺寸的镀膜工件的...
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