下载一种亚纳米球形硅微粉的制备方法的技术资料

文档序号:16446906

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本发明提供一种亚纳米球形硅微粉的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)清洗;(2)烘干;(3)球化;(4)分级处理;(5)回收;(6)检测;(7)包装。所述制备方法工艺简便,可操作性好,制得的产品粒径小,真球率高,是理想的新型半导体和化...
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