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一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置制造方法及图纸
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下载一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置的技术资料
文档序号:16440168
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本实用新型涉及直拉硅单晶棒的开方设备,旨在提供一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置。该种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置包括工作台头座、工作台尾座、气缸安装座、气缸、支架、导向衬套,用于安装晶棒。使用本实用新型极大地降低了硅棒安装和拆取所需时间...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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