下载一种栅金属汇流条芯片结构设计及其制作方法的技术资料

文档序号:16400329

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本发明提供了一种栅金属汇流条芯片结构设计及其制作方法,芯片结构自下而上依次包括金属电极117、衬底111、长条形元胞掺杂区112、长条梯形多晶栅113和绝缘层116;金属汇流条114 T型设于所述绝缘层116中部,其下表面与所述长条梯形多晶...
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