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本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉的分级闭环控制冷却设备，包括PLC控制器、供水泵和五级冷却组件，长晶炉的炉壁沿炉体轴向等分为五段，所述五级冷却组件分别设于五段炉壁的外侧；每一级冷却组件包括冷却水管、温度传感器和电子流量阀，冷却水管缠绕在炉壁外...
该专利属于许昌天戈硅业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过许昌天戈硅业科技有限公司授权不得商用。

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