下载一种新型结构线切片工艺的技术资料

文档序号:16393802

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本发明公开了一种新型结构线切片工艺,包括如下步骤:浆料更换,使液位准确;上棒夹紧,工件安装到位;文件设定,使线台速流量匹配,张力大小波匹配;预热开切,保证线网洁净度;升棒下棒,使工件切透。本发明中使用结构钢线替代传统钢线,在切割硅棒过程中会...
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