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本实用新型提供一种硅晶棒装夹装置，包括装夹座；装夹座包括支架和装夹主轴；装夹主轴安装在支架上、并可相对于支架转动；还包括活动组件安装座、第一驱动部件和活动夹紧部件；活动组件安装座设置在装夹主轴的周向外侧，并与装夹主轴固定连接；第一驱动部件与...
该专利属于浙江昀丰新材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江昀丰新材料科技股份有限公司授权不得商用。

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