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本实用新型涉及一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，包括酸洗室、智能控制器和自动配酸装置，所述酸洗室内设置有支架，支架上设置有用于放置待酸洗石英坩埚的喷淋平台，所述喷淋平台的上方安装有上喷头，下方安装有下喷头，所述下喷头的下侧设置有用于回收氢氟...
该专利属于许昌天戈硅业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过许昌天戈硅业科技有限公司授权不得商用。

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